曦源 HORIBA质量流量控制器

　　SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能数字式质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），广泛应用于半导体制造、薄膜沉积、分析仪器、光电子、生物医药等领域。该系列支持多种通信协议，具有较高的精度、快速响应能力和强大的多气体、多量程适应能力，是新一代工艺控制系统的理想选择。

　　产品特点

　　支持多种通信方式

　　数字/模拟通信

　　DeviceNet?

　　CC-link?

　　PROFIBUS?

　　EtherCAT?

　　高精度流量控制

　　控制精度达 ±1.0% of Set Point (*1)

　　重复性好，稳定性高

　　快速响应性能

　　响应时间：≤1秒（T98）

　　可变 PID 控制算法，确保不同气体/不同流量下的稳定输出

　　多气体/多量程功能

　　支持用户自定义更换气体类型和满量程（Full Scale）设定

　　降低库存成本，提高设备通用性和灵活性

　　高可靠性设计

　　无运动部件结构，可靠性更高，适合长期稳定运行

　　紧凑型设计，适配多种系统集成环境

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